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正在半导体修设中，用于浸积绝缘层、导电层及介质层，组成集成电道中央机闭；正在光伏物业中，通过造备透后导电层与光罗致层，优化太阳能电池的转化结果与安宁性。
然而，薄膜浸积后的腔室、石墨舟及石英管等中央组件容易因残留膜层导致工艺特地与平和隐患，直接影响薄膜匀称性、摆设安宁性及产物良率。
RPS长途等离子源是基于电感耦合等离子体本领的自成一体的原子爆发器，运用原子的高活性强氧化特色，抵达洗刷CVD或其他腔室后临盆工艺的方针。
石墨舟正在LPCVD、扩散工艺中动作承载晶圆的用具，其表面掩盖的膜层会跟着工艺次数的添加渐渐增厚，导致热导率消浸，影响温度匀称性，形成薄膜厚度不匀称。
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